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碳氮化鈦涂層——碳氮化鈦涂粉體制備（三）

發(fā)表于：2021-05-25 來(lái)源：

碳氮化鈦涂層——碳氮化鈦涂粉體制備（三）：

1.等離子體化學(xué)氣相堆積法：

? ? ? ? Ti(C，N)等離子體化學(xué)氣相堆積法通常是用等離子體激活TiCl4反響氣體，促進(jìn)其在基體外表或近外表空間進(jìn)行化學(xué)反響，生成Ti(C，N)固態(tài)膜的技術(shù)。后來(lái)為了避免TiCl4對(duì)反響容器的腐蝕和對(duì)環(huán)境形成污染，常采用無(wú)氯的含Ti有機(jī)物來(lái)取代TiCl4。這類含Ti有機(jī)物主要包括鈦酸四甲脂、鈦酸四乙脂、四異丙基鈦、鈦酸四丁脂及氨基鈦等。


2.高能球磨誘導(dǎo)自蔓延組成法：

? ? ? ?高能球磨作為一種粉體加工辦法，不僅能夠均勻混合并活化粉末然后降低燒結(jié)反響溫度、促進(jìn)合金化，還能夠在室溫下誘導(dǎo)自蔓延反響組成納米Ti(C，N)粉體。高能球磨誘導(dǎo)自蔓延組成Ti(C，N)技術(shù)集粉末混合和反響于一體，克服了傳統(tǒng)的高溫條件，可直接得到Ti(C，N)粉末。

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