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天津碳氮化鈦涂層中的CVD法是什么

發(fā)表于:2020-11-10 來源:

       天津碳氮化鈦涂層中的CVD法是主要用于硬質(zhì)合金車削類刀具的表面涂層,其涂層刀具適合于中型、重型切削的高速粗加工及半精加工。

       CVD法與其他涂層方法比較,不僅設(shè)備簡單,工藝成熟,還有以下優(yōu)點(diǎn):

       1、工藝成本低,適合大量生產(chǎn);

       2、沉積速率高,而且容易控制;

       3、黏附力較強(qiáng),可獲得較厚的涂層;

       4、有高度的滲透性和均勻性,可獲得不同組織的多層涂層,涂層厚薄均勻;


       5、涂層純度高,晶粒細(xì)而致密;

       6、沉積物種類多,能涂金屬、合金、碳化物、氮化物、硼化物、氧化物、碳氮化物、氧氮化物氫碳氮化物等。

       在天津碳氮化鈦涂層中的各種CVD法中,用得多的是真空離子轟擊法和磁控離子反應(yīng)噴涂法。CVD法屬于原子沉積類,是利用金屬鹵化物的蒸氣、氫氣和其他化學(xué)成分,在950~1050℃的高溫下,進(jìn)行分解、熱合等氣、固反應(yīng)沉積物以原子、離子、分子等原子尺度的形態(tài)在加熱基體表面形成固態(tài)沉積層的一種方法,其過程包括三個(gè)階段:物料汽化、運(yùn)輸?shù)交w附近和在基體上形成覆蓋層。

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